干式废气处理装置

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干式废气处理装置

技术参数：

处理原理：干法吸附式

气体最大处理流量：200SLM

控制系统：PLC

适用工艺：MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备

适用领域：高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体

设备特点：

处理效率高，吸附能力强

吸附剂更换简单、成本低廉

售后服务简易，设备故障率低

安装空间占用面积小，节省空间

设计有应急备用桶，主桶异常时可自动切换至应急吸附桶处理

具备入口压力监测、出口压力监测、温度检测等功能，均有安全连锁程序



  • 规格参数
  • 规格书信息
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021-57156332

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