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前过滤器:5pm
最终过滤器:0.003pm
标准配置:单柜瓶、双柜瓶、三瓶柜
适用领域:高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业
自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断
采用PLC控制,触控屏为人机界面
内部有安全链锁功能、阀门流量安全感知设计功能,设备操作安全可靠
配有火感、烟感、气体侦测等功能
内部气路盘可根据客户要求定制
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