设 备

化学气相沉积CVD

去胶设备

显定影设备

匀胶设备

特气设备

晶圆系列
  配 件
  管类备件
  阀类备件
  控制系统
  接头系列
  真空泵系列
  电子材料系列
  相关业务和服务
  设备翻新、改造及维修
  管道工程
  阀类备件 您的位置:首 页 >> 产品中心 >> 阀类备件  
隔膜阀系列

高压小型气动阀


材质

零件名称
材质
阀体
SUS316L二次熔炼材料
膜片
钴合金
气密垫圈
PCTFE(标准)
制动器
铝合金(铝氧化处理)


规格

口径

最高使用压力使用流体温度范围

Cv值

(20℃氮气时)

动作压力操作压力连接口连接接头
3.220.5 MPa
-10~40℃
0.050.4~0.6 MPaM5x0.8

UJR、UPG®

自动熔接接头

6.350.1



低压小型气动阀


材质

零件名称
材质
阀体SUS316L
膜片钴合金
气密垫圈
PCTFE(标准)
制动器
铝合金(铝氧化处理)


规格

口径最高使用压力使用流体温度范围

Cv值

(20℃氮气时)

动作压力
操作压力连接口
连接接头
3.21 MPa
-10~80℃
0.050.4~0.6 MPa
M5x0.8
UJR、UPG®

自动熔接接头

6.350.1



高压小型手动阀


材质

零件名称材质
阀体SUS316L二次熔炼材料
膜片钴合金
密封垫圈PCTFE(标准)
把手ADC12


规格

口径最高使用压力使用流体温度范围

Cv值

(20℃氮气时)

连接接头
6.3520.5 MPa
-10~40℃
0.1UJR、UPG®

自动熔接接



COPYRIGHT 2016-2018上海微世半导体有限公司ALL RIGHTS RESERVED 备案许可证号:沪ICP备09052610号
技术支持:培文信息
友情链接: 山东联盛电子设备有限公司 上海旅思真空设备有限公司