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三星测试 EUV 光刻机,加速 2nm GAA 工艺
发布日期:2026-01-20



三星电子美国泰勒晶圆厂将于2026年3月启动EUV光刻机测试,加速2nm GAA工艺部署,目标2026年下半年投产,随后陆续引进刻蚀、沉积等设备,计划今年下半年投产。追赶台积电先进制程领先地位。


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